Elektron Prob Mikro Analiz - Electron Probe Microanalysis (EPMA)
Marka: CAMECA Model: SX100
EPMA, katı malzemelerin yüzeylerinin analizini, tahribatsız bir şekilde ppm hassasiyetinde ve kimyasal olarak yapan bir cihazdır. EPMA tekniğinde odaklanmış bir elektron ışını (tipik enerji = 5-30 keV), akım yoğunluğu (1nA-300nA), sabit veya değiştirilebilir demet çapı (1μm-30μm) ile kararlı bir elektron demetinin numuneye gönderilmesi sonucunda, demet-numune etkileşimiyle karakteristik X-ışınları açığa çıkar. Bu ışınların dalga boyu yayılımı spektrometresi (WDS) veya enerji yayılımı spektrometresince (EDS) sınıflandırılması sonucunda kalitatif veya tam kantitatif elementel analiz yapılır. WDS tekniği EDS tekniğine göre çok daha yüksek hassasiyette kalitatif ve tam kantitatif analiz yapabilme yeteneğine sahip olmakla birlikte, analiz süresi EDS tekniğine göre daha uzundur. WDS spektrometrelerinin çalışma prensibi, Bragg yasasına dayanmaktadır.
EKİPMAN ÖZELLİKLERİ
- Cihazımızda hem dalga boyu yayılım spektrometresi (WDS, dört adet), hem de enerji yayılım spektrometresi (EDS) bulunmaktadır.
- SE (Secondary Electron) ve BSE (Back Scattered Electron) dedektörü ile görüntü alınabilmektedir.
- Nokta, alan veya bir hat üzerinde (1 mikron aralığıyla), analiz yapılabilmektedir.
- Bir bölgenin elementel haritası çıkartılabilmektedir.
- He, H, Li, Be dışında kalan hafif elementler de dâhil olmak üzere B(5) dan U(92) kadar elementlerin analizi yüksek hassasiyetle yapılabilmektedir.
